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        三菱高浓度臭氧气体发生系统介绍

        来源:www.08vk.com 作者:同林臭氧 时间:2024-03-27 16:11

        三菱高浓度臭氧气体发生系统介绍

        特征:

        • 采用氮气不添加法产生超高浓度臭氧气体,达到400g/m的超高、行业领先浓度3(北)
        • 通过采用不添加氮气的方法来清洁臭氧气体(其中氮氧化物的产生限制在其极限*)并保持所需的质量,从而限制金属污染物的产生,从而使图案小型化和提高薄膜质量。
          *氮氧化物浓度0.01ppm以下(与之前型号相比为1/10000)
        • 独特的超短间隙放电技术的继承,具有出色的启动特性、稳定性和冷却效率。
        • 符合国际标准,符合CE标志和SEMI-S2
        product-ozone-h-series.jpg

        H系列

        在不使用氮添加剂的情况下产生行业领先的超高浓度臭氧气体,主要用于半导体和制造工艺。

        P系列

        仅使用高纯度氧气产生清洁臭氧气,主要用于半导体和制造工艺,不含氮添加剂。

        C系列

        产生适用于半导体制造工艺的清洁臭氧气体

        N系列

        使用普通氧气产生高浓度臭氧气体。主要应用包括半导体制造工艺、化学工艺、食品制造工艺和水处理。

        臭氧水生产系统

        production-line-ozone-u-series.gif

        U系列

        制造适用于半导体制造工艺的清洁臭氧水。主要应用包括半导体制造工艺和精密机器零件清洗。

         

        母线粘接机

        特征

        • 将导线直接粘接到薄板玻璃上。
        • 无需加热、焊接材料或耗材即可形成母线排。
        • 接触电阻低,电性能好。
        • 原始技术可以减少对玻璃的损坏。

        基本规格

        • 引线的自动张力控制。
        • 监控系统(制造条件、粘接痕迹)。
        • 可更换的吸头(工具)
        • 砧座和固定结构(减少对玻璃的损坏)。

        粘接成就

        • 玻璃厚度[mm]:0.65~4
        • 玻璃的表面材料
          • 玻璃原料
          • 沉积薄膜(ITO、ZnO、Ag、Cr、Al、Ti、Ni等)
        • 平板玻璃尺寸 [mm]
          • □100、□300、500 x 1000、600 x 1200 等

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